蒸着源、蒸着装置、有機EL素子、有機EL素子の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小橋信淳 , 小橋立昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085417
公開番号（公開出願番号）：特開2004-296201
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】蒸着源における容器内の熱的不均一を解消することで、蒸着材料を有効に利用すると共に、基板上に均一な膜を形成する。【解決手段】有機化合物を蒸着材料とし、蒸着材料を収容する容器12と容器12内の蒸着材料11を加熱する加熱手段13を備え、更に、蒸着材料11を容器12内で流動させる流動手段を備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

有機化合物を蒸着材料とし、該蒸着材料を収容する容器と該容器内の前記蒸着材料を加熱する加熱手段を備えると共に、前記蒸着材料を前記容器内で流動させる流動手段を備えることを特徴とする蒸着源。

IPC (3件)：

H05B33/10 , C23C14/24 , H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 , C23C14/24 A , H05B33/14 A

Fターム (8件)：

3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BD00 , 4K029DB11 , 4K029DB12 , 4K029DB23

引用特許：

審査官引用 (10件)

成膜ユニット、成膜装置および成膜方法、並びに表示素子の製造装置および表示素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-276958 出願人：ソニー株式会社
有機化合物容器、有機蒸発源、及び真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-074436 出願人：日本真空技術株式会社
有機化合物の蒸着方法、及び有機化合物の精製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-056707 出願人：城戸淳二, 株式会社アイメス

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引用文献：

審査官引用 (2件)

化学装置便覧, 19890330, 改訂二版, pp.778-779
化学工学便覧, 19990225, 改訂六版, pp.426-427

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