特許
J-GLOBAL ID：200903028046931146

有機材料用蒸発源及び有機蒸着装置

発明者：
根岸 敏夫

根岸 敏夫 について

, 
中村 寿充

中村 寿充 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 阿部 英樹 ,  石島 茂男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-039334
公開番号（公開出願番号）：特開2006-225699
出願日： 2005年02月16日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】蒸着時における加熱温度及び蒸発速度の制御を正確且つ応答性良く行うことが可能な有機材料用蒸発源及びこれを用いた有機蒸着装置を提供する。 【解決手段】本発明の有機材料用蒸発源3は、所定の有機材料を収容する収容凹部33aを有する蒸発用容器33と、有機材料を加熱するための高周波誘導用のコイル50からなる加熱部とを備えている。蒸発用容器33の収容凹部33aは、開口側に向って開口形状が漸次大きくなるように略断面円錐形状に形成されている。蒸発用容器33の収容凹部33aの表面には、当該蒸発材料10の含浸を防止するための含浸防止部が設けられている。含浸防止部は、例えば薄膜のコーティングにより形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定の有機材料を収容する収容凹部を有する蒸発用容器と、 前記有機材料を加熱するための高周波誘導コイルからなる加熱部とを備え、 前記収容凹部は、開口側に向って開口形状が漸次大きくなるように形成されている有機材料用蒸発源。
IPC (4件)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
C23C14/24 A ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (10件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA24 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB14 ,  4K029DB19
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 有機材料用蒸発源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-342652   出願人：日本真空技術株式会社
審査官引用 (8件)
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