特許
J-GLOBAL ID：200903085490171143

テーパされた導波路の製造方法

発明者：
ギオヴァンニ バーバロッサ

ギオヴァンニ バーバロッサ について


出願人/特許権者：
ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド

ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195169
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084156
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 プレーナ光集積回路内にテーパされた導波路を製造する。【解決手段】 本明細書は、プレーナ光集積回路内に、z-方向(厚さ方向)に形成されたテーパを持つ導波路を製造するための方法に関する。これらテーパは、コア層を2つの動作にて堆積することによって形成される。第一のコア層を堆積した後に、この層がマスキングされ、この第一のコア層内に段が形成される。次に、この段を覆うように第二のコア層が堆積することで、なめらかなテーパが得られる。これらコア層は、好ましくは、火炎加水分解法を用いて形成される。圧密によって、これら2つのコア層は、導波路の厚さ方向になめらかなテーパを持つ単一の均質な層に合体される。
請求項（抜粋）：
プレーナ光集積回路内に導波路を製造するための方法であって、この導波路がクラッド層とコア層を含み、導波路のコア層が厚さ方向にテーパされ、この方法が:a.基板上にクラッド層を形成するステップ、b.前記クラッド層上に第一のコア層を形成するステップ、c.前記第一のコア層内に段を形成するステップ、およびd.前記第一のコア層上に前記段を覆うように第二のコア層を形成するステップを含み、これによって導波路のコア層内にテーパが形成されることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
G02B 6/122 ,  G02B 6/13
FI (2件)：
G02B 6/12 C ,  G02B 6/12 M
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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