特許
J-GLOBAL ID：200903085724350810
光学部材用合成石英ガラスとその製造方法および使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-086527
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335927
出願日： 2000年03月27日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：
【要約】【課題】波長165nm以下の波長領域での透過率が高い光学部材用合成石英ガラスを高効率かつ簡便に製造することができる方法の提供。【解決手段】OH基含有量が50ppm以下の合成石英ガラスに、波長180nm以下の真空紫外光を照射して波長165nm以下の波長域の透過率を改善する工程を有する光学部材用合成石英ガラスの製造方法。
請求項（抜粋）：
OH基含有量が50ppm以下の合成石英ガラスに、波長180nm以下の真空紫外光を照射して波長165nm以下の波長域の透過率を改善する工程を有する光学部材用合成石英ガラスの製造方法。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03C 3/06
, G02B 1/02
, H01L 21/027
C03B 20/00 Z
, C03B 20/00 F
, C03C 3/06
, G02B 1/02
, H01L 21/30 515 D
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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