特許
J-GLOBAL ID：200903085887727563

大型ペリクル

発明者：
栗山 芳真

栗山 芳真 について

, 
脇元 一郎

脇元 一郎 について


出願人/特許権者：
旭化成電子株式会社

旭化成電子株式会社 について


代理人 (3件)： 中川 周吉 ,  中川 裕幸 ,  飛田 高介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-159739
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361649
出願日： 2003年06月04日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】大型ペリクルを検査する際に検査台にセットした際には、大型ペリクルの保護フィルムが大型ペリクルの枠体と検査台の内周面との間に介在し、大型ペリクルを検査台に正確かつ安定した状態でセット出来ない問題があった。【解決手段】本発明に於ては、ペリクル面積が1,000cm2以上の大型ペリクル1に於て、保護フィルム5の外径cを枠体2の外径aより小さくし、かつ該保護フィルム5の外径cを粘着材4の外径bより大きくした構造である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなるペリクル面積が1,000cm2以上の大型ペリクルに於て、前記保護フィルムの外径を該粘着材の外径より大きくかつ前記枠体の外径より小さく構成したことを特徴とする大型ペリクル。
IPC (1件)：
G03F1/14
FI (1件)：
G03F1/14 K
Fターム (2件)：
2H095BC31 ,  2H095BC38
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM