特許
J-GLOBAL ID：200903086018721152
基板上の非晶質膜の多結晶化方法及び液晶ディスプレイ基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080883
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273030
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 基板上の非晶質膜を多結晶化するにあたり、グレインサイズを拡大化し、(1,1,1)配向強度を増加させる。【構成】 基板L上の非晶質膜を多結晶化する際、真空チャンバ33内の載置台34に基板Lを保持させてこれを加熱する。基板L上の非晶質膜に対して、エキシマレーザ光発振源61からのレーザ光のパルスを断続的に照射して照射領域の非晶質膜を溶融させた後、少なくとも基板Lの非晶質膜側を減圧雰囲気内で冷却させる。【効果】 グレインサイズが拡大化して(1,1,1)配向強度が増加するので、移動度の高速な素子を基板上に形成させることができる。
請求項（抜粋）：
基板上の非晶質膜を多結晶化する方法であって、所定の減圧雰囲気内に前記基板を位置させ、この基板上の非晶質膜に対して、レーザ光のパルスを断続的に照射して照射領域の非晶質膜を溶融させた後、少なくとも基板の非晶質膜側を減圧雰囲気にして前記基板を冷却させて、前記照射領域を多結晶化することを特徴とする、基板上の非晶質膜の多結晶化方法。
IPC (5件)：
H01L 21/20
, G02F 1/136 500
, H01L 27/12
, H01L 29/786
, H01L 21/336
