特許
J-GLOBAL ID：200903086100424875

湿度センサおよびその製法

発明者：
奥田 浩史

奥田 浩史 について


出願人/特許権者：
タバイエスペック株式会社

タバイエスペック株式会社 について


代理人 (1件)： 曽々木 太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-283225
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090329
出願日： 2000年09月19日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：
【要約】【課題】 計測範囲が広く、かつ耐結露性を含む耐環境ストレスも良好な湿度センサおよびその製法を提供する。【解決手段】 基板1の上に下部電極膜2を形成し、該下部電極膜2の上に強誘電体の感湿膜3を形成し、該感湿膜の上に上部電極膜4を形成してなる湿度センサSである。
請求項（抜粋）：
静電容量式湿度センサであって、感湿膜が強誘電体からなることを特徴とする湿度センサ。
Fターム (17件)：
2G060AB02 ,  2G060AC01 ,  2G060AE19 ,  2G060AF10 ,  2G060BA09 ,  2G060BB09 ,  2G060BD02 ,  2G060HA02 ,  2G060HB06 ,  2G060HC02 ,  2G060HC07 ,  2G060HC13 ,  2G060HC15 ,  2G060HC19 ,  2G060HC21 ,  2G060HD03 ,  2G060JA02
引用特許：
審査官引用 (26件)
  • 特開昭62-216963
  • 感湿素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-258319   出願人：株式会社村田製作所
  • 薄膜感湿素子およびその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-161914   出願人：京セラ株式会社
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