特許
J-GLOBAL ID：200903097707606575

板状物体検査装置

発明者：
秋元 洋平

秋元 洋平 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-195612
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014649
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 大型基板の目視検査において、基板ステージを回転、傾斜及び基板へ照明を照射して基板上の欠陥を目視検査する。また、目視検査で確認した欠陥位置及び基板上の任意の位置を顕微鏡検査し、その顕微鏡での確認位置の画像表示と、その画像上の寸法測定が可能とする。【解決手段】 検査基板を搭載する検査基板ステージ1と、検査基板ステージ1を水平軸で回転自在に支えるステージ台2と、ステージ台2を垂直軸で回転自在に支える基台3と、基台3を水平方向に移動可能にするフレーム9と、フレーム9に設けられた顕微鏡検査ステージ7とを有し、検査基板ステージ1と顕微鏡検査ステージ7とを並行にまたは略並行にして、かつ、顕微鏡検査ステージ7が備える顕微鏡41の被写界深度に検査基板を支持可能とする。
請求項（抜粋）：
検査基板を搭載する検査基板ステージと、該検査基板ステージを水平軸で回転自在に支えるステージ台と、該ステージ台を垂直軸で回転自在に支える基台と、該基台を水平方向に移動可能にするフレームと、前記フレームに設けられた顕微鏡検査ステージとを有し、前記検査基板ステージと前記顕微鏡検査ステージとを前記並行にまたは略並行にして、かつ、前記顕微鏡検査ステージが備える顕微鏡の被写界深度に前記検査基板を支持可能とすることを特徴とする板状物体検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84 ,  G01B 11/02 ,  G01N 21/958
FI (4件)：
G01N 21/84 C ,  G01N 21/84 D ,  G01B 11/02 H ,  G01N 21/958
Fターム (20件)：
2F065AA23 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM02 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS13 ,  2G051AA73 ,  2G051AB07 ,  2G051BB19 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051ED12 ,  2G051FA02
引用特許：
審査官引用 (8件)
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