特許
J-GLOBAL ID：200903086211803182

3軸磁気センシング装置およびその製造方法

発明者：
布施 晃広

布施 晃広 について

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▲高▼ 太好

▲高▼ 太好 について

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安住 純一

安住 純一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-057038
公開番号（公開出願番号）：特開2009-216390
出願日： 2008年03月06日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：
【課題】高密度に集積化が可能な、高感度でかつ高信頼性の小型3軸磁気センシング装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】3軸磁気センシング装置において、基板の表面上の平坦部にあるX軸に感磁軸を有するように形成されたX軸薄膜磁気センサーと、X軸に対して90°のY軸に感磁軸を有するように形成されたY軸薄膜磁気センサーと、基板の上面に平坦部と所定の角度をなすように設けられた傾斜面を有した凹部と、基板の表面に対して垂直方向に伸びるZ軸に感磁軸を有するように形成されたZ軸薄膜磁気センサーと、を具備し、Z軸薄膜磁気センサーが、磁気検知素子と磁気誘導部材からなり、磁気検知素子は基板表面の平坦部に形成され、磁気誘導部材は傾斜面に形成されると共に、磁気検知素子と磁気誘導部材とが磁気的に結合されている構成となっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
同一基板に少なくとも3個以上の薄膜磁気センサーが配置されて形成される3軸磁気センシング装置であって、 前記基板の表面上の平坦部にあるX軸に感磁軸を有するように前記平坦部に形成されたX軸薄膜磁気センサーと、 前記基板の表面上の平坦部にあり前記X軸に対して90°のY軸に感磁軸を有するように前記平坦部に形成されたY軸薄膜磁気センサーと、 前記基板の上面に前記平坦部と所定の角度をなすように設けられた傾斜面を有した凹部と、 前記基板の表面に対して垂直方向に伸びるZ軸に感磁軸を有するように前記平坦部および前記傾斜面に形成されたZ軸薄膜磁気センサーと、を具備し、 前記Z軸薄膜磁気センサーが、磁気検知素子と磁気誘導部材からなり、前記磁気検知素子は前記平坦部に形成され、前記磁気誘導部材は前記傾斜面に形成されると共に、前記磁気検知素子と前記磁気誘導部材とが磁気的に結合されていることを特徴とする3軸磁気センシング装置。
IPC (3件)：
G01R 33/09 ,  G01R 33/02 ,  H01L 43/08
FI (3件)：
G01R33/06 R ,  G01R33/02 L ,  H01L43/08 Z
Fターム (23件)：
2G017AA01 ,  2G017AA13 ,  2G017AC07 ,  2G017AD55 ,  2G017AD56 ,  2G017AD65 ,  5F092AA13 ,  5F092AB01 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092BB04 ,  5F092BB17 ,  5F092BB22 ,  5F092BB31 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB42 ,  5F092BC04 ,  5F092BE24 ,  5F092CA23 ,  5F092CA25 ,  5F092EA01 ,  5F092FA08
引用特許：
出願人引用 (5件)
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