特許
J-GLOBAL ID：200903086218524300
光透過性光学部材、その製造方法、その評価方法、および光リソグラフィー装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-252554
公開番号（公開出願番号）：特開2000-081367
出願日： 1998年09月07日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 真空紫外光を光源とした光リソグラフィー装置に有用な光透過性光学部材を提供すること。【解決手段】 200nm以下の特定波長の光を透過する光透過性光学部材であって、前記光学部材は主にカリウム含有量が0.5ppm以下のフッ化カルシウム結晶からなり、200nm以下の特定波長の光を一定時間照射したときの照射前後の透過率の差が5%以下であることを特徴とする光透過性光学部材を提供する。
請求項（抜粋）：
200nm以下の特定波長の光を透過する光透過性光学部材の評価方法であって、光透過性光学部材の光照射前の透過率を測定する第1の透過率測定工程と、前記200nm以下の特定波長か該波長よりも短い波長の光を、光透過性光学部材の透過率変化がなくなるのに充分な時間、照射する光照射工程と、前記透過率変化がなくなったときの透過率を測定する第2の透過率測定工程と、第1の透過率と第2の透過率との差すなわち透過率低下量を求め、該透過率低下量が光透過性光学部材として使用可能な値であるかを判定する評価工程と、を含むことを特徴とする光透過性光学部材の評価方法。
IPC (7件)：
G01M 11/00
, C01F 11/22
, C30B 29/12
, G01N 21/59
, G02B 1/02
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G01M 11/00 L
, G01M 11/00 T
, C01F 11/22
, C30B 29/12
, G01N 21/59 Z
, G02B 1/02
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
