表面検査装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田研二 , 石田純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-106842
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309439
出願日： 2003年04月10日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】表面検査において低輝度の異物と欠陥とを区別して欠陥のみを検出する。【解決手段】被検査面に明暗パターンの光を照射した状態で被検査面を撮像し(S1)、撮像データの輝度値を微分することにより明部と暗部の境界部分を抽出した抽出画像を取得する(S3)。抽出画像を2つの異なる閾値L1、L2で二値化する。L1は、少なくとも欠陥に起因する輝度値の微分値より小さい値であり、L2はそれより大きい値とする。そして、得られた2つの画像のうち、異なる輝度値の部分のみを欠陥として検出する(S8)。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被検査面上の欠陥を検出する表面検査装置において、被検査面に明暗パターンの光を照射する照射手段と、明暗パターン光が照射された被検査面を撮像する撮像手段と、撮像データのうち、明部と暗部の境界部分を抽出した抽出画像を取得する抽出画像取得手段と、欠陥に起因しない境界部分のみを抽出した第1画像を取得する第1画像取得手段と、欠陥に起因しない境界部分と欠陥に起因する境界部分とを抽出した第2画像を取得する第2画像取得手段と、第1画像と第2画像とのいずれかのみで抽出された境界部分を欠陥として検出する欠陥検出手段と、を有する表面検査装置。

IPC (1件)：

G01N21/89

FI (1件)：

G01N21/89 Z

Fターム (14件)：

2G051AA89 , 2G051AB02 , 2G051AB12 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051ED03 , 2G051ED04 , 2G051ED08 , 2G051ED11 , 2G051ED21

引用特許：

審査官引用 (10件)

表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-165486 出願人：日産自動車株式会社
特開平2-108167
欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-103544 出願人：富士写真フイルム株式会社

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