特許

J-GLOBAL ID：200903086337551707

合成石英ガラス

発明者： 生田 順亮 ,  岡田 要 ,  菊川 信也
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131331
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311801
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】真空紫外線透過性に優れる合成石英ガラスの提供。【解決手段】F2 レーザ光を光源とする光学装置の光学部材として用いられる合成石英ガラスにおいて、波長157.6nmにおける内部透過率が85%/cm以上であって、かつF2 レーザやXe2 エキシマランプなどの紫外線照射による157.6nm内部透過率変動量が5%/cm以下である合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

F2 レーザを光源とする光学装置の光学部材に用いられる合成石英ガラスにおいて、波長157.6nmにおける内部透過率が88%/cm以上であって、かつエネルギー密度1mJ/cm2 /pulse以下のF2 レーザを合計で20kJ/cm2 照射する間の157.6nm内部透過率変動量が±4%/cm以下である合成石英ガラス。

IPC (3件)：

G02B 1/02 ,  C03C 3/06 ,  H01S 3/034

FI (3件)：

G02B 1/02 ,  C03C 3/06 ,  H01S 3/03 G

Fターム (12件)：

4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062GE02 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ06 ,  4G062MM02 ,  4G062MM35 ,  4G062NN01 ,  4G062NN16 ,  5F071AA04 ,  5F071FF07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 真空紫外用石英ガラスの製造方法 および石英ガラス光学部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-170984   出願人：株式会社ニコン
• 合成石英ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-055221   出願人：旭硝子株式会社, 学校法人トヨタ学園
• 高出力真空紫外線用合成シリカガラス光学材料およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-145938   出願人：信越石英株式会社
• 真空紫外線用光学材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-252183   出願人：東ソー株式会社, 山口日本石英株式会社, 日本石英硝子株式会社