特許
J-GLOBAL ID：200903008268536864
合成石英ガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
角田 衛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055221
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316123
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：
【要約】【課題】従来よりも波長165nm以下における光透過率が安定している合成石英ガラスを提供する。【解決手段】波長165nm以下の光を照射して使用される光学部材用合成石英ガラスにおいて、20°Cにおける波長157.6nmでの内部光透過率が70%/cm以上、かつ20〜35°Cにおける波長157.6nmでの内部光透過率の温度による変化量が-0.5〜0%/cm/°Cであることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
波長165nm以下の光を照射して使用される光学部材用合成石英ガラスにおいて、20°Cにおける波長157.6nmでの内部光透過率が70%/cm以上、かつ20〜35°Cにおける波長157.6nmでの内部光透過率の温度による変化量が-0.5〜0%/cm/°Cであることを特徴とする合成石英ガラス。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03B 8/04
, C03C 3/06
, G02B 1/00
C03B 20/00 G
, C03B 20/00 E
, C03B 20/00 F
, C03B 8/04 M
, C03C 3/06
, G02B 1/00
