特許
J-GLOBAL ID：200903086428707556
ACMセンサとその製造方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011147
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201451
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【課題】 寿命が長く、感度が高く、出力のバラツキが小さく、かつ製造時の歩留りが高く、コストダウンが可能なACMセンサとその製造方法を提供する。【解決手段】 導電材料からなる基板表面のアンカ力を向上させる前処理工程30と、基板表面に絶縁材料を溶射して絶縁膜を成膜する絶縁膜溶射工程32と、絶縁膜の表面に基板と異なる導電材料を溶射して導電膜を成膜する導電膜溶射工程34と、導電膜の表面を平滑に研削する平坦化工程36と、導電膜及び絶縁膜をスリット状に研削除去するスリット加工工程38とからなる。平坦化工程及び/又はスリット加工工程において、導電性砥石を電解ドレッシングしながら研削するELID研削法を使用する。
請求項（抜粋）：
導電材料からなる基板(12)と、該基板の表面に成膜された絶縁材料のみからなる絶縁膜(14)と、該絶縁膜の表面に成膜され基板と異なる導電材料のみからなる導電膜(16)とからなり、前記導電膜、絶縁膜及び基板の一部が導電膜から基板まで滑らかな勾配を形成して部分的にスリット状に除去されている、ことを特徴とするACMセンサ。
Fターム (8件)：
2G050BA01
, 2G050BA02
, 2G050BA06
, 2G050CA01
, 2G050DA01
, 2G050DA03
, 2G050EA02
, 2G050EB02
出願人引用 (12件)
-
アルミニウムの腐食センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-038239
出願人：本田技研工業株式会社, 昭和アルミニウム株式会社
-
特開平1-197629
-
特開平1-092652
全件表示
引用文献：
前のページに戻る
