特許
J-GLOBAL ID:200903086721210887
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-205561
公開番号(公開出願番号):特開平11-054673
出願日: 1997年07月31日
公開日(公表日): 1999年02月26日
要約:
【要約】【課題】従来のフリップチップ構造の半導体装置では熱的、電気的に大電力動作させることが困難であった。【解決手段】バンプ電極3と裏面電極1aとを両面に形成した半導体ペレット1と、微小パッド電極7と主電流が供給される径大パッド電極15とを形成した配線基板4とを、バンプ電極3と微小パッド電極7とを重合させて対向させ各電極の重合部を電気的に接続するとともに、背面電極1aと径大パッド電極15間を、熱的、電気的に良好な伝導性を有する接着材17、18を介して熱的、電気的に良好な伝導性を有する熱電気接続部材16に接続したことを特徴とする半導体装置。
請求項(抜粋):
一主面にバンプ電極を形成し他の主面に裏面電極を形成した半導体ペレットと、半導体ペレットのバンプ電極に対応する位置に微小パッド電極を形成するとともに微小パッド電極形成領域の外方に主電流が供給される径大パッド電極を形成した配線基板とを、バンプ電極と微小パッド電極とを重合させて対向させ各電極の重合部を電気的に接続するとともに、半導体ペレットの他の主面と径大パッド電極間を、熱的、電気的に良好な伝導性を有する接着材を介して熱的、電気的に良好な伝導性を有する熱電気接続部材に接続したことを特徴とする半導体装置。
引用特許: