特許

J-GLOBAL ID：200903086918419923

電子ビーム露光装置、及び電子ビーム計測モジュール

発明者： 高桑 真樹 ,  中山 義則 ,  中村 元
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト ,  キヤノン株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-213198
公開番号（公開出願番号）：特開2004-055933
出願日： 2002年07月22日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】電子ビームの電流を高精度に制御することにより、高い描画精度でウェハを露光する電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】電子ビームによりウェハを露光する電子ビーム露光装置10は、電子ビームを発生する電子銃110と、電子ビームによって露光されるウェハ146を保持するウェハステージ148と、ウェハステージ148に設けられ、電子ビームの電流を検出してデジタルデータとして格納するビーム計測モジュール20とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電子ビームによりウェハを露光する電子ビーム露光装置であって、 前記電子ビームを発生する電子ビーム発生部と、 前記電子ビームによって露光される前記ウェハを保持するウェハステージと、 前記ウェハステージに設けられ、前記電子ビームの電流を検出する電流検出部と、 前記ウェハステージに設けられ、前記電流検出部が検出した前記電流を示す情報を格納する格納部と を備えることを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (5件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/04 ,  H01J37/18 ,  H01J37/305

FI (9件)：

H01L21/30 541N ,  G03F7/20 504 ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/04 A ,  H01J37/18 ,  H01J37/305 B ,  H01L21/30 541U ,  H01L21/30 541E ,  H01L21/30 541W

Fターム (20件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097BB01 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C030AA02 ,  5C030AB03 ,  5C033KK03 ,  5C034BB06 ,  5F056AA07 ,  5F056AA23 ,  5F056BA01 ,  5F056BB02 ,  5F056BB03 ,  5F056CB01 ,  5F056CB05 ,  5F056CB29 ,  5F056CB32 ,  5F056EA03 ,  5F056EA04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 照度計測装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-023812   出願人：株式会社ニコン
• 荷電粒子ビーム装置におけるビーム電流測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-340152   出願人：日本電子株式会社
• 荷電ビーム描画装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-159063   出願人：日本電信電話株式会社
• 電子線描画装置およびその調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-002443   出願人：株式会社日立製作所