特許

J-GLOBAL ID：200903086948916450

感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターンの製造法

発明者： 日高 敬浩 ,  鍛治 誠
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-278138
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112124
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】優れた感光特性を有し、低露光量でも形状に優れる良好なパターンが得られる感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いた優れた耐熱性、耐薬品性を示すポリイミドパターンの製造法を提供する。【解決手段】(A)光重合可能な炭素-炭素二重結合を有するポリイミド前駆体並びに(B)光開始剤系としてで表わされるヘキサアリールビイミダゾール化合物及びで示されるチタノセン化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)光重合可能な炭素-炭素二重結合を有するポリイミド前駆体並びに(B)光開始剤系として(b1)一般式(I)【化1】(式中、X,X’及びX”は、各々独立に、アルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基、ニトロ基、アルコキシ基又は【化2】(R1及びR2は各々独立にアルキル基である)で示される基であり、p,q及びrは、各々独立に0〜5の整数である)で表わされるヘキサアリールビイミダゾール化合物及び(b2)一般式(II)【化3】(式中、R3及びR4は水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基であり、Y、Y’、Y”、Z、Z’及びZ”は各々独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基又はピロリル基を示す)で示されるチタノセン化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (25件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025BC69 ,  2H025BC81 ,  2H025CA22 ,  2H025CA28 ,  2H025CA39 ,  2H025FA15 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA16 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 感光性組成物、感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-142776   出願人：日立化成工業株式会社
• ポリイミドプライマーをベースとするネガ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-073067   出願人：オリン・マイクロエレクトロニツク・ケミカルズ・インコーポレイテツド
• カラーフィルター用光重合性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-006090   出願人：三菱化学株式会社
• 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-205028   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及びそれを用いるパターン化されたポリイミド皮膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-192451   出願人：信越化学工業株式会社
• 感光性ポリイミド前駆体組成物、およびそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-132353   出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社