特許
J-GLOBAL ID:200903087051949696
可変フィルタ素子、可変フィルタモジュール、およびこれらの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
吉田 稔
, 田中 達也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-118583
公開番号(公開出願番号):特開2008-278147
出願日: 2007年04月27日
公開日(公表日): 2008年11月13日
要約:
【課題】駆動電圧の低減に適した可変フィルタ素子および可変フィルタモジュール、並びに、これらの製造方法を提供する。【解決手段】本発明の例えば可変フィルタ素子X1は、例えば、基板10と、基板10上において並列して延びる、二本のグラウンド線22およびグラウンド線22間の信号線21と、グラウンド線22間を架橋し、信号線21と対向する部位24aを有する、可動キャパシタ電極24と、信号線21およびグラウンド線22の間に位置して可動キャパシタ電極24との間に静電引力を発生させるための駆動電極25と、基板10内に設けられ、信号線21と対向する部位を有し、グラウンド線22と電気的に接続している、グラウンド線12aとを備える。可動キャパシタ電極24およびグラウンド線12a,22は、グラウンド配線部を構成し、信号線21およびグラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上において並列して延びる、二本の基板上グラウンド線および当該基板上グラウンド線間の信号線と、
前記二本の基板上グラウンド線を架橋し、前記信号線と対向する部位を有する、可動キャパシタ電極と、
前記信号線および前記基板上グラウンド線の間に位置し、前記可動キャパシタ電極との間に静電引力を発生させるための、駆動電極と、
前記基板内に設けられ、前記信号線と対向する部位を有し、前記二本の基板上グラウンド線と電気的に接続している、基板内グラウンド線と、を備え、
前記基板上グラウンド線、前記可動キャパシタ電極、および前記基板内グラウンド線は、グラウンド配線部を構成し、
前記信号線および前記グラウンド配線部は、分布定数伝送線路を構成する、可変フィルタ素子。
IPC (4件):
H01P 1/203
, H01P 11/00
, H03H 7/12
, B81B 3/00
FI (4件):
H01P1/203
, H01P11/00 G
, H03H7/12
, B81B3/00
Fターム (31件):
3C081AA09
, 3C081BA30
, 3C081BA32
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081CA03
, 3C081CA14
, 3C081CA15
, 3C081CA20
, 3C081CA28
, 3C081CA30
, 3C081CA31
, 3C081CA32
, 3C081CA33
, 3C081CA42
, 3C081DA07
, 3C081DA22
, 3C081DA27
, 3C081DA29
, 3C081EA22
, 5J006HA26
, 5J006HB03
, 5J006JA01
, 5J006LA11
, 5J006MA07
, 5J024AA02
, 5J024CA01
, 5J024CA09
, 5J024DA04
, 5J024DA29
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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マイクロ波伝送線路
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-030220
出願人:日本電信電話株式会社
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高速信号線
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-191413
出願人:日本電信電話株式会社, 住商プラスケム株式会社
-
高周波スイッチ装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-086823
出願人:三菱電機株式会社
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引用文献:
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