ガリウムの精製法および装置並びに化合物半導体作成用のガリウム原料

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田憲治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306097
公開番号（公開出願番号）：特開2001-122623
出願日： 1999年10月27日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】融体固化による再結晶法で高純度ガリウムを操作性よく且つ高い収率で得る。そして,不純物のドープコントロールを行わなくても,意図する半導体を製造することができるような化合物半導体作成用のGa原料を得る。【解決手段】容器に収容した液体状態のガリウム原料を攪拌しながら該容器の内壁面から容器中央の方向に筒状の凝固界面が漸次縮径するように凝固を進行させ,容器内原料の全部が凝固する前に容器中央部に存在する液相を別の容器に液状態で吸引移動して別のガリウム精製工程に給送する一方,容器内の凝固相を当該容器内で融解し,その融解相を攪拌しながら該容器の内壁面から容器中央の方向に筒状の凝固界面が漸次縮径するように凝固を進行させ,容器内原料の全部が凝固する前に容器中央部に存在する液相を別の容器に液状態で吸引移動することを繰り返すガリウムの精製方法。容器中央部に存在する液相の不純物濃度を測定することにより,グロー放電質量分析装置では分析限界とされていた精製Ga中の不純物濃度も把握することができる。

請求項（抜粋）：

不純物を含むガリウム原料から不純物を分離する方法において,容器に収容した液体状態のガリウム原料を攪拌しながら該容器の内壁面から容器中央の方向に筒状の凝固界面が漸次縮径するように凝固を進行させ,容器内原料の全部が凝固する前に容器中央部に存在する液相を別の容器に液状態で吸引移動して別のガリウム精製工程に給送する一方,容器内の凝固相を当該容器内で融解し,その融解相を攪拌しながら該容器の内壁面から容器中央の方向に筒状の凝固界面が漸次縮径するように凝固を進行させ,容器内原料の全部が凝固する前に容器中央部に存在する液相を別の容器に液状態で吸引移動することを繰り返すガリウムの精製方法。

IPC (4件)：

C01G 15/00 , C22B 9/02 , C22B 58/00 , C30B 29/42

FI (4件)：

C01G 15/00 E , C22B 9/02 , C22B 58/00 , C30B 29/42

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平2-073929
ガリウムの精製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-076072 出願人：古河機械金属株式会社
化合物半導体単結晶の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-170379 出願人：株式会社ジャパンエナジー

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審査官引用 (6件)

特開平2-073929
ガリウムの精製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-076072 出願人：古河機械金属株式会社
化合物半導体単結晶の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-170379 出願人：株式会社ジャパンエナジー

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