特許
J-GLOBAL ID:200903087249587471

複合式連続薄膜形成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 臼村 文男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-143224
公開番号(公開出願番号):特開平10-319208
出願日: 1997年05月16日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 処理室を大気に曝することなく、眼鏡レンズに対してハードコート層、反射防止膜および撥水コート層を一連の装置で形成し、作業性および生産性を著しく改善する。【解決手段】 真空雰囲気下に眼鏡レンズ13の表面にハードコート層を形成するハードコート室45,47、真空雰囲気下に眼鏡レンズの表面に反射防止膜を形成する反射防止コート室49および真空雰囲気下に眼鏡レンズの表面に撥水コート層を形成する撥水コート室53が順次連設されてなり、眼鏡レンズを搭載した基板ホルダーが、上記各室を大気に曝すことなく、上記各室内を搬送されてハードコート層、反射防止膜および撥水コート層が順次眼鏡レンズの表面に形成する複合式連続薄膜形成装置。
請求項(抜粋):
真空雰囲気下に眼鏡レンズの表面にハードコート層を形成するハードコート室、真空雰囲気下に眼鏡レンズの表面に反射防止膜を形成する反射防止コート室および真空雰囲気下に眼鏡レンズの表面に撥水コート層を形成する撥水コート室が順次連設されてなり、眼鏡レンズを搭載した基板ホルダーが、上記各室を大気に曝すことなく、上記各室内を搬送されてハードコート層、反射防止膜および撥水コート層が順次眼鏡レンズの表面に形成されることを特徴とする複合式連続薄膜形成装置。
IPC (8件):
G02B 1/10 ,  B29D 11/00 ,  C08J 7/04 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/30 ,  C23C 28/00 ,  G02C 7/02 ,  C08L101:00
FI (8件):
G02B 1/10 Z ,  B29D 11/00 ,  C08J 7/04 M ,  C08J 7/04 Z ,  C23C 14/08 N ,  C23C 16/30 ,  C23C 28/00 A ,  G02C 7/02
引用特許:
審査官引用 (6件)
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