石英ガラスルツボとその評価方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大家邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160735
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342028
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】【課題】石英ガラスルツボの内表面層に含まれる微細気泡や異物などを簡単に検出でき、かつ精度の良い評価方法とその方法による石英ガラスルツボの提供【解決手段】石英ガラスルツボの内表面層を赤熱温度以上および軟化温度未満に加熱し、ルツボ内表面の加熱領域で観察される輝点の個数を測定することを特徴とする評価方法、およびこの評価方法によって輝点を10個/cm2以下とした石英ガラスルツボ。

請求項（抜粋）：

石英ガラスの赤熱温度以上および軟化温度未満の加熱下で、ルツボ内表面の加熱領域で観察される輝点が10個/cm2以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。

IPC (4件)：

C03B 20/00 , C30B 15/10 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (4件)：

C03B 20/00 H , C30B 15/10 , C30B 29/06 502 B , H01L 21/208 P

Fターム (11件)：

4G014AH23 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077PD01 , 5F053AA12 , 5F053BB04 , 5F053BB13 , 5F053RR04 , 5F053RR07

引用特許：

審査官引用 (7件)

シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-079032 出願人：信越石英株式会社
単結晶引き上げ用石英るつぼ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-107530 出願人：信越半導体株式会社, 信越石英株式会社
特公平8-013340

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