特許
J-GLOBAL ID：200903087322362467

板状部材の搬送方法及び搬送装置

発明者：
藤森 英二郎

藤森 英二郎 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-062569
公開番号（公開出願番号）：特開2003-264215
出願日： 2002年03月07日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】 真空吸着機構や静電チャックなどの吸着手段を設けなくても、板状部材の表裏を反転させることのできる搬送方法及び搬送装置を提供する。また、簡易な構造で板状部材を反転させることができる搬送方法及び搬送装置を提供する。さらに、従来よりも迅速に板状部材を受け渡しできる搬送方法及び搬送装置を提供する。【解決手段】 搬送装置10は、一対の保持ハンド部11,12が間隔を隔てて対向するように構成された搬送ハンドと、この搬送ハンドを回動自在に構成するモータ等の回動手段13と、この回動手段13の回動軸と直交する軸周りに上記の搬送ハンドを回転自在に取り付けた第1アーム15と、第1アーム15を回転自在に取り付けた第2アーム16と、第2アーム16を回転自在に取り付けた基台17とを有している。
請求項（抜粋）：
板状部材を保持して搬送する方法であって、前記板状部材の表裏両側に、搬送ハンドに設けられた一対の保持部が前記板状部材の厚さよりも大きな隙間を隔てて配置された状態で、前記搬送ハンドに保持された前記板状部材が搬送されることを特徴とする板状部材の搬送方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07
FI (4件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 15/08 D ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 E
Fターム (22件)：
3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007ET02 ,  3C007EU18 ,  3C007EV02 ,  3C007EV27 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA18 ,  5F031FA20 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA16 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47
引用特許：
審査官引用 (5件)
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