特許
J-GLOBAL ID：200903036723921120

ウェ-ハ搬送装置

発明者：
大野 知博

大野 知博 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371367
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195926
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 研削装置等に配設されるウェーハの搬送装置において、ウェーハが薄い場合にも割れ等を生じさせることなく安全かつ確実にウェーハを吸引保持する。【解決手段】 吸引領域17と支持領域16とを含むウェーハ保持部11と、ウェーハ保持部11を進退させる進退アーム13と、進退アーム13を旋回動させる旋回手段14とから少なくとも構成されるウェーハ搬送装置において、吸引領域17に複数の微細な吸引部を形成することにより、吸引時の応力を分散させる。
請求項（抜粋）：
吸引領域と支持領域とを含むウェーハ保持部と、該ウェーハ保持部を進退させる進退アームと、該進退アームを旋回動させる旋回手段とから少なくとも構成されるウェーハ搬送装置であって、該吸引領域には、複数の微細な吸引部が形成されているウェーハ搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 7/00 ,  B23Q 7/04 ,  B25J 15/06 ,  B24B 37/04
FI (5件)：
H01L 21/68 B ,  B23Q 7/00 D ,  B23Q 7/04 K ,  B25J 15/06 K ,  B24B 37/04 Z
Fターム (31件)：
3C033BB04 ,  3C033EE03 ,  3C033HH16 ,  3C033HH22 ,  3C033HH28 ,  3C033PP07 ,  3C058AA07 ,  3C058AB03 ,  3C058AC01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB05 ,  3F061CC00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA20 ,  5F031GA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031MA22 ,  5F031PA20
引用特許：
審査官引用 (9件)
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