特許
J-GLOBAL ID:200903087561634410
異方導電性シートおよびその製造方法並びに回路装置の電気的検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大井 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-270576
公開番号(公開出願番号):特開2001-093945
出願日: 1999年09月24日
公開日(公表日): 2001年04月06日
要約:
【要約】【課題】 面積が小さい電極および/または酸化膜が形成された電極に対して所要の電気的接続が小さい加圧力で確実に達成され、電極の表面が汚染されない異方導電性シートおよびその製造方法並びにこの異方導電性シートを具えた回路装置の電気的検査装置の提供。【解決手段】 本発明の異方導電性シートは、厚み方向に伸びる複数の弾性の導電路形成部が絶縁部によって相互に絶縁されて配置された本体と、本体の導電路形成部上に設けられた、錐状または錐台状の接点部材とを具えてなる。本発明の製造方法は、形成すべき接点部材に適合する形状の複数の凹所が、形成すべき本体の導電路形成部に対応して形成されてなる接点部材配列板を用い、凹所の各々に導電材料を充填して接点部材を形成し、接点部材が保持された接点部材配列板上に本体を形成して接点部材配列板を除去する。本発明の電気的検査装置は、検査用電極を有する検査用回路基板と、上記の異方導電性シートとを具えてなる。
請求項(抜粋):
それぞれ厚み方向に伸びる複数の弾性を有する導電路形成部が、絶縁部によって相互に絶縁された状態で配置されてなる異方導電性シート本体と、この異方導電性シート本体における導電路形成部上に一体的に設けられた、錐状または錐台状の接点部材とを具えてなることを特徴とする異方導電性シート。
IPC (4件):
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01R 11/01
FI (4件):
H01L 21/66 B
, G01R 1/073 F
, G01R 31/26 J
, H01R 11/01 D
Fターム (22件):
2G003AA07
, 2G003AA10
, 2G003AG04
, 2G003AG07
, 2G003AG12
, 2G011AA16
, 2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF04
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106AA20
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD03
, 4M106DD04
, 4M106DD10
, 4M106DD11
引用特許:
審査官引用 (8件)
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半導体装置の検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-121211
出願人:松下電器産業株式会社, 東京エレクトロン株式会社
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導電ゴムシート
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-025036
出願人:ジェイエスアール株式会社
-
機械加工システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-048467
出願人:三菱マテリアル株式会社
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