特許
J-GLOBAL ID：200903087694012322

光の反射測定による試料の複素誘電率測定装置及び測定方法

発明者：
川手 悦男

川手 悦男 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-311458
公開番号（公開出願番号）：特開2006-125888
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 試料の反射スペクトルを測定することで、基板上の薄膜の複素誘電率を測定できる光学系を実現する。【解決手段】 平行平板状の基板の反射スペクトルは、フリンジのボトム(底)周波数では入射角度に依らず、反射率は一定で最小値をとるが、その周辺周波数では、入射角度を増加させると反射率は増加して1に近づく。この基板に薄膜を載せて厚さを増加させると、フリンジのボトム周波数は低周波側にずれる。これら3つの効果のために、基板のみの反射スペクトルに対する基板と薄膜からなる系の反射スペクトルの比のスペクトル(相対反射スペクトル)は、最小値と最大値が隣接した構造のスペクトルになり、この相対反射スペクトルを解析することで、薄膜の複素誘電率が求まる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
誘電率測定装置において、試料に光を照射し、該試料による該光の反射光を測定し、該反射光のスペクトルに基いて該試料の複素誘電率を求めることを特徴とする誘電率測定装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (8件)：
2G059AA03 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)
  • 楕円型光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-051084   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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