特許
J-GLOBAL ID：200903021022494646
楕円型光学系
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-051084
公開番号（公開出願番号）：特開2004-257956
出願日： 2003年02月27日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】精度良く物質の光学定数を決定するための反射率と透過率を同時に測定できる光学系を実現する。【解決手段】光源からの光の方向を第1または第2の集光反射手段側に選択的に切換える入射側ビーム切換鏡、該ビーム切換鏡からの光を試料支持台の位置において交差集光するように投射する第1及び第2の集光反射手段、該集光反射手段による集光位置に試料または参照試料を出没により選択的に位置決め可能にした試料支持台、該試料支持台上の試料または参照試料において反射または透過した光の光路に配設され、それらの光を単一の出射側ビーム切換鏡に向ける第1及び第2の受光反射手段、及び、該受光反射手段を介して投射された光の方向を単一の検出器に向けるようにその向きを切換え可能にした上記出射側ビーム切換鏡を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料支持台上において互いに交差する第1及び第2の光路が設定されており、上記第1及び第2の光路は、光源からの光の方向を第1または第2の集光反射手段側に選択的に切換える入射側ビーム切換鏡から、該第1または第2の集光反射手段を経て、上記交差する点で集光するように投射されることにより形成されるものであり、
上記第1または第2の光路を経て上記試料支持台上の試料に光が入射し、そして該試料から出射した光は、それらの光を単一の出射側ビーム切換鏡に向けて投射するための第1及び第2の受光反射手段が配設され、上記出射側ビーム切換鏡は、受光反射手段を介して投射された光の方向を単一の検出器に向けて投射するようにその向きを切換え可能に構成され、
表面入射と裏面入射に対する試料の出射光強度を測定可能にしたことを特徴とする光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/47 Z
, G01N21/59 Z
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059JJ13
, 2G059LL01
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (3件)
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