特許
J-GLOBAL ID：200903087754465631

圧電アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットヘッド

発明者：
磯野 純

磯野 純 について


出願人/特許権者：
ブラザー工業株式会社

ブラザー工業株式会社 について


代理人 (1件)： 兼子 直久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-179906
公開番号（公開出願番号）：特開2002-374685
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 反りやうねりを抑制して良好な平面性を有することができる上、その性能を十分に発揮することのできる圧電アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】 圧電アクチュエータ20には、個別電極31、コモン電極32をそれぞれ導通するためにスルーホール36,37が設けられている。このスルーホールの最大径(φ)は20μm≦φ≦200μmであり、また、各圧電シート21〜29に穿設されるスルーホール36,37は、その積層方向において電極(個別電極31、ダミー電極31b、コモン電極32、ダミー電極32b)を電気的に接続する。更に、スルーホール36,37は積層方向に対して千鳥状になるように配設されている。
請求項（抜粋）：
複数の内部個別電極を備えた第1の圧電シートと内部共通電極を備えた第2の圧電シートとを交互に積層した圧電アクチュエータにおいて、前記各圧電シートは、積層方向の前記内部個別電極の端部どうし及び前記内部共通電極の端部どうしを電気的に導通させるべく内部に導電材料を有するスルーホールを有しており、そのスルーホールは、最大径が略20μm以上で且つ略200μm以下となるように形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (5件)：
H02N 2/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09
FI (4件)：
H02N 2/00 B ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 Q
Fターム (4件)：
2C057AG14 ,  2C057AG37 ,  2C057AG47 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (11件)
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