薄膜の密着力評価方法及び硬さ試験機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：荒船博司 , 荒船良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-009261
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201803
出願日： 2004年01月16日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】複雑な機構を有する治具等を用いることなく、より正確に薄膜の密着力を相対的に評価することができる薄膜の密着力評価方法を提供する。【解決手段】表面に薄膜(11)が形成された基板(10)を所定の角度に傾斜させた状態で、薄膜に圧子(3)を所定の押圧力で押付けて、そのときの圧子の押込深さを計測し、その計測結果に基づいて、基板の表面に対する薄膜の密着力を相対的に評価することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面に薄膜が形成された基板を所定の角度に傾斜させた状態で、該薄膜に圧子を所定の押圧力で押付けて、そのときの該圧子の押込深さを計測し、その計測結果に基づいて、該基板の表面に対する該薄膜の密着力を相対的に評価することを特徴とする薄膜の密着力評価方法。

IPC (3件)：

G01N19/04 , G01N3/00 , G01N3/42

FI (3件)：

G01N19/04 Z , G01N3/00 P , G01N3/42 Z

Fターム (11件)：

2G061AA02 , 2G061BA01 , 2G061BA20 , 2G061CA16 , 2G061CB01 , 2G061DA01 , 2G061DA12 , 2G061EA01 , 2G061EA02 , 2G061EB03 , 2G061EC04

引用特許：

出願人引用 (1件)

薄膜密着強度評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-141134 出願人：トヨタ自動車株式会社

審査官引用 (8件)

薄膜物性評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-118992 出願人：日本電気株式会社
特開昭64-031036
荷電粒子放出検出による材料評価方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-006822 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

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