特許
J-GLOBAL ID：200903087923957549

静電チャックにおける被吸着物の離脱方法及び静電チャック

発明者：
馬渕 博嗣

馬渕 博嗣 について

, 
和田 等

和田 等 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223961
公開番号（公開出願番号）：特開平11-069855
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 静電力にて吸着固定された被吸着物を短時間で確実に離脱させることが可能な静電チャックにおける被吸着物の離脱方法及び静電チャックを提供すること。【解決手段】 制御部3の制御に基づいて電源2が静電チャック本体1へ所定の電圧を印加することによりウエハSを吸着固定し、プロセス終了後、吸着電圧の印加を停止し、制御部3の制御によりエアシリンダ6を操作してリフトピン5を上昇させる。そして吸着時とは極性が逆である電圧を電源2が静電チャック本体1へ所定時間印加し、位置検出器6aからの検出信号に基づいてウエハSが離脱したか否かを制御部3において判断する。ウエハSが離脱していない場合は、制御部3の制御によって電源2が静電チャック本体1へ前回とは極性が逆である電圧を印加する。ウエハSが離脱した場合、又は離脱のための電圧印加が所定回行われた場合は電圧印加を終了する。
請求項（抜粋）：
静電チャックに吸着電圧を印加することにより静電吸着保持された被吸着物を離脱させる方法において、前記静電チャックに離脱電圧を所定時間印加する工程と、前記離脱電圧の印加中に前記被吸着物の離脱状態を検出する検出工程と、該検出工程において前記被吸着物の離脱が検出されていない場合は、前記離脱電圧の極性を反転する工程とを含み、極性反転後は、以上の離脱処理工程を繰り返し、前記検出工程において前記被吸着物の離脱が検出された場合は、前記離脱処理工程を終了することを特徴とする静電チャックにおける被吸着物の離脱方法。
IPC (2件)：
H02N 13/00 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
H02N 13/00 D ,  H01L 21/68 R
引用特許：
審査官引用 (7件)
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