特許
J-GLOBAL ID：200903087988752871

成膜装置

発明者：
成井 啓修

成井 啓修 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 畑中 芳実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-240818
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079904
出願日： 2002年08月21日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】膜質及び膜厚の良好な面内均一性を維持しつつ、有機EL素子のような大面積の基板、例えば20インチの基板上に薄膜を成膜できる成膜装置を提供する。【解決手段】本成膜装置30は、有機EL素子形成用の有機薄膜の成膜装置であって、インジェクタの構成を除いて従来の成膜装置と同じ構成を備えている。インジェクタ32は、原料ガス供給管22に連結されている板状部材34と、板状部材34に連結されているブロック状部材36とから構成されている。インジェクタ32は、板状部材34及びブロック状部材36に形成された第1から第8の分岐管の8段縦続の分岐構造として構成されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板を収容し、基板上に膜を成膜する成膜チャンバと、成膜チャンバ内に設けられ、基板に向けて原料ガスを流出させるインジェクタと、インジェクタに原料ガスを供給する原料ガス供給管とを備え、インジェクタを介して原料ガスを成膜チャンバに導入して気相成長法により基板上に膜を成長させる成膜装置において、 インジェクタ内の原料ガス流路が、第1の分岐管と、第1の分岐管の各出口に接続された2本の第2の分岐管と、以下、同様にして、第(n-1)(nは2以上の任意の整数)の分岐管の各出口に接続された2n-1 個の第nの分岐管からなるn段縦続の分岐構造として構成され、 第1の分岐管が、原料ガス供給管の出口に接続された入口と、原料ガスを2系統に分流させる2本の分岐管体と、2本の分岐管体のそれぞれに設けられた出口とを有し、 第2の分岐管が、第1の分岐管の分岐管体の出口に接続された入口と、原料ガスを更に2系統に分流させる2本の分岐管体と、2本の分岐管体のそれぞれに設けられた出口とを有し、 第nの分岐管が、それぞれ、第(n-1)の分岐管の分岐管体の出口に接続された入口と、原料ガスを更に2系統に分流させる2本の分岐管体と、2本の分岐管のそれぞれに設けられ、原料ガスを成膜チャンバ内に流出させる出口とを有することを特徴とする成膜装置。
IPC (4件)：
H01L21/205 ,  C23C16/448 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (4件)：
H01L21/205 ,  C23C16/448 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (17件)：
3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K030EA01 ,  4K030EA03 ,  4K030EA05 ,  4K030EA06 ,  4K030JA07 ,  4K030LA11 ,  5F045AA04 ,  5F045BB02 ,  5F045CA09 ,  5F045DP03 ,  5F045EF05 ,  5F045EF08 ,  5F045EF09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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