特許
J-GLOBAL ID：200903088093583892
ガラス状炭素部材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019185
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217205
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】ガラス状炭素部材における狭小部分の面粗度を容易に改良することができる表面処理方法を実現する。【解決手段】真空処理室1内に設けた2枚の平行平板型電極2,3の間にアルゴンと酸素の混合ガスを導入した状態で高周波電力源4から高周波電力を印加することによって発生させたプラズマに、ガラス状炭素部材における面粗度を改良すべき表面を曝すことにより、この表面の面粗度を改良する。
請求項（抜粋）：
プラズマに曝すことにより面粗度を改良することを特徴とするガラス状炭素部材の製造方法。
IPC (3件)：
C01B 31/02 101
, B01J 19/08
, C04B 41/80
C01B 31/02 101 A
, B01J 19/08 E
, C04B 41/80 Z
