特許
J-GLOBAL ID：200903088263905237

フィルム状感光性材料の光活性保持方法及びプリント配線板の製造法

発明者：
土屋 勝則

土屋 勝則 について

, 
塚田 勝重

塚田 勝重 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-306053
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160638
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 再現性良く高効率で、減圧下で積層されたフィルム状感光性材料への活性光照射ができる方法及びこれを用いたプリント配線板の製造法を提供する。【構成】 減圧下で基材上に積層されたフィルム状感光性材料の活性光線照射までの保持及び活性光線照射を化学的に不活性な雰囲気下で行うことを特徴とするフィルム状感光性材料の光活性保持方法及びこの方法を用いたプリント配線板の製造法。
請求項（抜粋）：
減圧下で基材上に積層されたフィルム状感光性材料の活性光線照射までの保持及び活性光線照射を化学的に不活性な雰囲気下で行うことを特徴とするフィルム状感光性材料の光活性保持方法。
IPC (4件)：
G03F 7/38 501 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/26 ,  H05K 3/06
引用特許：
審査官引用 (17件)
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