複屈折評価装置および複屈折評価方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322866
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141602
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】測定対象の複屈折測定において、そこで使用される光信号の1波長よりも大きな複屈折を所望の精度で測定する。【解決手段】複屈折評価装置は、測定対象Saの複屈折に関する情報を担う光信号を取得する光学系(白色光源1、偏光子2、検光子3、及び分光器4)と、この光学系により取得された光信号に基づいてその波数に対して余弦状に変化する成分の周期を解析し、その解析データから測定対象Saの所定の波長領域における複屈折を求める複屈折解析手段(PC5)とを備える。

請求項（抜粋）：

測定対象の複屈折に関する情報を担う光信号を取得する光学系と、この光学系により取得された光信号に基づいてその波数に対して余弦波状に変化する成分の周期を解析し且つその解析データから前記測定対象の所定の波長領域における複屈折を求める複屈折解析手段と、を備えたことを特徴とする複屈折評価装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 , G01N 21/23

FI (2件)：

G01M 11/00 T , G01N 21/23

Fターム (15件)：

2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059EE05 , 2G059HH02 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM04 , 2G059MM09 , 2G059PP01 , 2G086EE07 , 2G086EE12

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-280549
複屈折測定装置及び複屈折測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-312008 出願人：株式会社リコー
特開平4-307312

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