特許
J-GLOBAL ID：200903088507619770

露光装置

発明者：
大村 健

大村 健 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-043422
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242173
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】レーザビームを走査する露光装置において、画像濃度の低下を防止する。【解決手段】この発明の露光装置21は、半導体レーザ素子101A,101B,101Cおよび101Dがオフ時に、駆動(予備駆動)電流の大きさをしきい値またはその近傍の大きさとすることで、レーザオン時のレーザ出力の立ち上がり特性を向上し、画像濃度が不所望に低下することを防止する。このとき、レーザ素子は、レーザ出力を放射するが、その出力は、ハーフミラー120,121および122により減衰されるので、非画像部にかぶりが生じることもない。
請求項（抜粋）：
所定の駆動電流が供給されることで光を発光する光源と、この光源からの光を第1の方向へ偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向された前記光を所定像面に結像する結像手段と、前記の光源の非発光時の駆動電流の大きさを、前記光源が発光を開始する発光開始電流の大きさに近接した大きさに維持する駆動電源装置と、を有することを特徴とする露光装置。
IPC (6件)：
G02B 26/10 ,  G03G 15/01 112 ,  G03G 15/043 ,  G03G 15/04 ,  G03G 21/00 398 ,  H01S 3/096
FI (5件)：
G02B 26/10 D ,  G03G 15/01 112 A ,  G03G 21/00 398 ,  H01S 3/096 ,  G03G 15/04 120
引用特許：
審査官引用 (7件)
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