特許

J-GLOBAL ID：200903088686501000

加速度センサ

発明者： 鈴木 清光 ,  松本 昌大 ,  嶋田 智 ,  大貫 仁 ,  小出 晃 ,  望月 康弘 ,  市川 範男 ,  堀江 潤一 ,  仲沢 照美 ,  久保田 正則 ,  半沢 恵二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106832
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292409
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】加速度検出部が非気密構造のため、高価で量産性や信頼性に問題があった。また、直交した二軸以上の加速度成分を検出できないなどの問題点もあった。【解決手段】加速度検出部と信号処理回路部とをシリコン板へ一体に集積化し、少なくとも加速度検出部を気密な空間に配置するようにシリコンウエハの上にキャップを接合した。そして、可動マスに対向し且つ互いに直交するような固定電極を配置することにより、直交した2成分以上の加速度を同時に検出できるようにした。

請求項（抜粋）：

支持体で支持され且つ可動電極の機能を有する可動質量体と、前記可動質量体に対向して配置された固定電極よりなる加速度検出部と、加速度に応じて変位する前記可動質量体の動きを加速度信号に変換する信号処理回路部と、を半導体基板へ一体に集積化した加速度センサにおいて、少なくとも前記加速度検出部が前記半導体基板の上に接合した被覆材によって気密空間内に配置されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-324031   出願人：株式会社日立製作所
• 静電容量式加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212024   出願人：株式会社村田製作所
• 半導体加速度センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-305709   出願人：日本電装株式会社
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-007569   出願人：株式会社東海理化電機製作所
• 半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273618   出願人：松下電工株式会社