ポジ型レジスト組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140665
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】特にカラーフィルターに応用した場合に、レジストが本来有している性能が阻害されず、且つ、カラーフィルターを製造する際に工程管理等が容易なポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】それぞれ、水素原子が1個置換されたスルホンアミド、カルボン酸アミド及びウレイドからなる群より選ばれる少なくとも1つの基を有する化合物、溶解阻止剤並びに有機溶剤を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。【効果】マトリックス樹脂を含有しないので、カラーフィルターに応用した場合に色濃度及び色再現性等の諸性能に優れ、且つ薄膜のカラーフィルターが得られる。

請求項（抜粋）：

それぞれ、水素原子が1個置換されたスルホンアミド、カルボン酸アミド及びウレイドからなる群より選ばれる少なくとも1つの基を有する化合物、溶解阻止剤並びに有機溶剤を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 505 , G03F 7/028 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (28件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253523 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-007179 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-009928 出願人：富士写真フイルム株式会社

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審査官引用 (48件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253523 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-007179 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-009928 出願人：富士写真フイルム株式会社

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