圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：碓氷裕彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377484
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181651
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【目的】よりセンサチップの表面に汚染物質を堆積させないとともに、結露の発生により圧力導入孔が閉塞することを防止した構造を用いた圧力センサを提供すること。【構成】圧力検出部1と圧力導入孔8との間に、遮蔽板7を設けることにより、圧力センサ内への汚染物質の侵入量を低減するとともに、侵入した汚染物質の流れを、圧力検出部1の周囲に導くことができるため、圧力検出部1の表面に汚染物質が堆積してしまうことを防止した圧力センサを提供することが可能となる。また、遮蔽板7は、圧力検出部1側に向かって湾曲になっているため、結露が発生しても、遮蔽板7を伝って、圧力導入孔8から圧力センサの外に水が落ちていくので、結露の発生により圧力導入孔8が閉塞することを防止できる。

請求項（抜粋）：

センサチップを有した圧力検出部と、圧力導入孔を有し、前記センサチップを覆うように前記圧力検出部に固定されたポートと、前記センサチップと前記圧力導入孔との間に配置された遮蔽板とを備えたことを特徴とする圧力センサ。

Fターム (10件)：

2F055AA22 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD20 , 2F055EE40 , 2F055FF38 , 2F055GG12 , 2F055GG25 , 2F055HH05 , 2F055HH11

引用特許：

審査官引用 (7件)

半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-267707 出願人：株式会社鷺宮製作所
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-178210 出願人：松下電工株式会社
特開昭58-066034

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