特許
J-GLOBAL ID：200903028298629639
ポジ型感光性樹脂組成物並びにそれらを用いた半導体装置及び表示素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-379061
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184660
出願日： 2004年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】 特に金属との密着性に優れたポリベンゾオキサゾール樹脂又はポリイミド樹脂又はその共重合樹脂を提供することを目的とするポリアミド樹脂とそれらを用いた露光特性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供するものである。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)感光性ジアゾキノン化合物、及び、(C)窒素原子を2つ以上含む複素環式化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物であり、成分(C)が窒素原子を3つ以上含む複素環式化合物であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)感光性ジアゾキノン化合物、及び、
(C)窒素原子を2つ以上含む複素環式化合物、
を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004
, G03F 7/022
, G03F 7/037
, G03F 7/075
, H01L 21/027
G03F7/004 501
, G03F7/022
, G03F7/037
, G03F7/075 521
, H01L21/30 502R
2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB24
, 2H025CB25
, 2H025CB26
, 2H025CC06
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H025FA30
出願人引用 (8件)
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特開平1-46862号公報
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特開昭63-001584号公報
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ポジ型感光性樹脂前駆体組成物
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-187775
出願人：東レ株式会社
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審査官引用 (13件)
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