微量金属分析用標準ガス、標準ガスの調製装置および標準ガスの調製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：市川恒彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061314
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内の雰囲気などに含まれる金属化合物を直接法により分析するための標準ガスを提供する。【解決手段】微量金属分析用標準ガスは、温度20°C以上で昇華圧を有する金属化合物の蒸気と、この金属化合物に対して不活性な気体とを含んでいる。

請求項（抜粋）：

温度20°C以上で昇華圧を有する金属化合物の蒸気と、前記金属化合物に対して不活性な気体とを含む、微量金属分析用標準ガス。

IPC (2件)：

G01N 1/00 102 , G01N 33/20

FI (2件)：

G01N 1/00 102 D , G01N 33/20 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

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