特許
J-GLOBAL ID：200903088974764890

超純水製造方法と装置およびそれを用いた電子部品部材類の洗浄方法と装置

発明者：
鳥山 由紀子

鳥山 由紀子 について

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梅香 明子

梅香 明子 について

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川田 和彦

川田 和彦 について

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建持 千佳

建持 千佳 について


出願人/特許権者：
オルガノ株式会社

オルガノ株式会社 について


代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-117907
公開番号（公開出願番号）：特開2005-296839
出願日： 2004年04月13日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】純水装置内に用いられる非再生型イオン交換樹脂、特にカチオン樹脂中のナトリウムイオンをコントロールし、イオン交換樹脂から処理水へ流出するナトリウムイオンを極めて低いレベルに抑えて、超純水の水質を向上させることが可能な超純水製造方法と装置、およびそれを用いた電子部品部材類の洗浄方法と装置を提供する。【解決手段】超純水製造装置に使用される非再生型イオン交換樹脂について、カチオン交換樹脂に対しては、ナトリウム形化合物R-Naの分率を0.01%以下、好ましくは0.001%以下とすることを特徴とする超純水製造方法および装置、ならびにそれを用いたウェハ等の電子部品部材類の洗浄方法と装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
超純水製造装置に使用される非再生型イオン交換樹脂について、カチオン交換樹脂に対しては、ナトリウム形化合物R-Naの分率を0.01%以下とすることを特徴とする超純水製造方法。
IPC (2件)：
C02F1/42 ,  H01L21/304
FI (2件)：
C02F1/42 B ,  H01L21/304 647Z
Fターム (4件)：
4D025AA04 ,  4D025BA08 ,  4D025BA13 ,  4D025BB01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)
  • 超純水の製造法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-239287   出願人：栗田工業株式会社
  • 超純水の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-244857   出願人：オルガノ株式会社
  • 超純水製造装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-235887   出願人：オルガノ株式会社

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