特許
J-GLOBAL ID：200903089093777219
光学多層膜付きガラス部材及び光学多層膜付きガラス部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-090108
公開番号（公開出願番号）：特開2008-249923
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【課題】ガラス基板の主表面に光学多層膜を密着性良く形成することにより、光学多層膜の膜ハガレが発生しない光学多層膜付きガラス部材、及び光学多層膜付きガラス部材の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板の主表面に光学多層膜が形成され、前記ガラス基板と前記光学多層膜との間に付着力強化層が形成された光学多層膜付きガラス部材であって、付着力強化層は、ガラスネットワークを構成しうる元素であるSi(珪素)もしくはAl(アルミニウム)の酸化物膜であり、反応性スパッタリングにおける遷移状態から金属状態の間で形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガラス基板の主表面に光学多層膜が形成され、前記ガラス基板と前記光学多層膜との間に付着力強化層が形成された光学多層膜付きガラス部材であって、
前記付着力強化層は、ガラスネットワークを構成しうる元素であるSi(珪素)もしくはAl(アルミニウム)の酸化物膜であり、反応性スパッタリングにおける遷移状態から金属状態の間で形成されていることを特徴とする光学多層膜付きガラス部材。
IPC (3件)：
G02B 5/22
, G02B 1/10
, C03C 17/34
G02B5/22
, G02B1/10 Z
, C03C17/34 Z
2H048CA12
, 2H048CA17
, 2H048CA26
, 2K009AA02
, 2K009BB02
, 4G059AA11
, 4G059AC04
, 4G059AC06
, 4G059EA01
, 4G059EA05
, 4G059GA02
, 4G059GA04
, 4G059GA12
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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