特許
J-GLOBAL ID：200903089393183078

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
河辺 保雅

河辺 保雅 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229791
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066396
出願日： 1998年08月14日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】深紫外線、特にArFエキシマレーザー光の露光により、残膜率、レジストプロファイル、解像力、密着性が優れ、かつドライエッチング耐性にも優れ、しかも現像欠陥の問題のないレジストを与えるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、活性光線により酸を発生する化合物、有橋環式炭化水素アルコール、含窒素塩基性化合物、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)有橋環式炭化水素アルコール、(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (12件)：
2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB06 ,  2H025CB52 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20
引用特許：
審査官引用 (5件)
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