特許
J-GLOBAL ID：200903089459774080
パターン補正方法、パターン補正装置、およびパターン補正プログラムを記録した記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129331
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328457
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 データ処理量と処理時間とを大幅に短縮した、レイアウトデータのパターン補正方法を提供する。【解決手段】 パターン補正方法は、自動レイアウト装置により設計されたパターンの設計レイアウトデータを入力とする。まず、入力された設計レイアウトデータ中に含まれる補正対象セルの各々について、周囲に他図形が存在するかどうかに基づき、特定の形式で表現する環境プロファイルを決定する。そして、セル置換テーブルを参照して、決定された環境プロファイルに対応して置き換えられるべき補正パターンの名前である置換セル名を読み出して、補正後レイアウトデータを生成する。読み出した置換セル名に対応する補正パターンをセルライブラリから取り込む。環境プロファイルを決定するには、補正対象セルの周囲を複数のセグメントに分割し、各セグメントに他図形が存在するか否かに基づいて、結果を2値で表現する。
請求項（抜粋）：
自動レイアウト装置により設計されたパターンの設計レイアウトデータを受け取るステップと、受け取った設計レイアウトデータ中に含まれる補正対象セルの各々について、周囲に他図形が存在するかどうかに基づき、特定の形式で表現する環境プロファイルを決定するステップと、セル置換テーブルを参照して、決定された環境プロファイルに対応して置き換えられるべき補正パターンの名前である置換セル名を読み出して、補正後レイアウトデータを生成するステップと、前記読み出した置換セル名に対応する補正パターンをセルライブラリから取り込むステップと、を含むパターン補正方法。
Fターム (3件)：
2H095BB01
, 2H095BB02
, 2H095BB36
