特許
J-GLOBAL ID：200903089517751614

光偏向器

発明者：
谷 雅直

谷 雅直 について

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安田 喜昭

安田 喜昭 について

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赤松 雅洋

赤松 雅洋 について

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四十物 孝憲

四十物 孝憲 について


出願人/特許権者：
スタンレー電気株式会社

スタンレー電気株式会社 について


代理人 (5件)： 佐藤 辰彦 ,  堀 進 ,  鷺 健志 ,  本間 賢一 ,  加賀谷 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-009750
公開番号（公開出願番号）：特開2009-169290
出願日： 2008年01月18日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、高い駆動周波数と大きい最大偏向角とを両立可能な光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器A1のミラー部1と、ミラー部1を駆動する圧電アクチュエータ8a〜8d,10a,10bの圧電カンチレバーの支持体4a〜4hは、複数の層から構成される半導体基板SOIを形状加工して一体的に形成される。圧電カンチレバーの支持体4a〜4hは、複数の層のうち少なくとも1つの層からなる第1の支持層31aを形状加工して形成され、ミラー部1は、複数の層のうち第1の支持層31aと厚さが異なる少なくとも1つの層からなる第2の支持層31cを形状加工して形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反射面を有するミラー部と、該ミラー部を駆動する少なくとも1つの圧電アクチュエータとを備え、該圧電アクチュエータは、支持体上に形成された圧電体に駆動電圧を印加することで圧電駆動により屈曲変形を行う1つ以上の圧電カンチレバーを含み、該圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することで該ミラー部を回転駆動させる光偏向器において、 前記圧電カンチレバーの支持体は、半導体基板を構成する複数の層のうち少なくとも1つの層からなる第1の支持層を形状加工して形成され、 前記ミラー部は、前記複数の層のうち少なくとも1つの層からなる、該第1の支持層と厚さが異なる第2の支持層を形状加工して形成されることを特徴とする光偏向器。
IPC (5件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113
FI (6件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  G02B26/08 E ,  B41J3/00 D ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z
Fターム (56件)：
2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2C362BB44 ,  2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045CB65 ,  2H045DA02 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD40 ,  2H141MF01 ,  2H141MF10 ,  2H141MF12 ,  2H141MF28 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ15 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ20 ,  2H141MZ26 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081CA02 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA27 ,  3C081CA28 ,  3C081DA04 ,  3C081DA27 ,  3C081EA08 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA02 ,  5C072BA03 ,  5C072DA04 ,  5C072DA21 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15 ,  5C072WA05 ,  5C072XA05
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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