特許
J-GLOBAL ID:200903089916162614

ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山本 尚 ,  中山 千里
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-345991
公開番号(公開出願番号):特開2006-153703
出願日: 2004年11月30日
公開日(公表日): 2006年06月15日
要約:
【課題】 積層体の電極部とその周辺の板面との境界に生じる隙間からセンサ素子内に酸素や水が侵入するのを防止できるガスセンサを提供する。 【解決手段】 ガスセンサのセンサ素子10において、活性ロウ材は、卑金属からなる各電極パッド部118,119および232の表面との濡れ性のみならず、アルミナを主体とする絶縁層51および第2基層123の表面との濡れ性も高い。よって、活性ロウ材層250を、電極パッド部118,119および232の表面と、その周辺の絶縁層51の表面及び第2基層123の表面とに設けることができる。これにより、電極パッド部118,119と絶縁層51の表面との接触部分にできる隙間や、電極パッド部232と第2基層123の表面との接触部分にできる隙間を覆うことができ、その隙間から酸素や水がセンサ素子10内に侵入するのを防止できる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
少なくとも一方の表面が、アルミナを主成分とするアルミナ層により構成された基体であって、当該基体の内部に設けられた配線と、前記アルミナ層の表面に設けられ、前記配線と電気的に接続する電極部とを備える前記基体を有するガスセンサにおいて、 前記電極部は卑金属からなり、 前記電極部及びその周辺の前記アルミナ層には、活性ロウ材が塗布されていることを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
G01N 27/409
FI (1件):
G01N27/58 B
Fターム (16件):
2G004BB04 ,  2G004BC02 ,  2G004BD04 ,  2G004BE04 ,  2G004BF05 ,  2G004BF06 ,  2G004BF13 ,  2G004BF19 ,  2G004BF27 ,  2G004BG05 ,  2G004BH02 ,  2G004BH09 ,  2G004BJ03 ,  2G004BL19 ,  2G004BM04 ,  2G004BM07
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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