特許
J-GLOBAL ID：200903090077614642
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-191175
公開番号（公開出願番号）：特開2005-026512
出願日： 2003年07月03日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】基板上に薬液を吐出しつつ、薬液を吸引して、基板に対して薬液処理を行う基板処理装置において、薬液処理による欠陥の発生を抑制する。【解決手段】薬液流入開口21aから供給された薬液を前記基板に対向する薬液吐出口21bから吐出する薬液吐出ノズル21と,リンス液流入口23aから供給されたリンス液を前記基板に対向するリンス液吐出口23bから吐出するリンス液吐出ノズル23と,前記基板に対向する吸引口24b,25bから前記基板上の溶液を吸引する第1及び第2の溶液吸引ノズル24,25とを具備する薬液吐出/吸引部20と、前記薬液吐出/吸引部20と前記基板とを相対的に水平移動させる移動機構と、前記薬液吐出/吸引部と前記基板主面との距離を略一定に保ちながら相対的に走査する機構とを具備し、前記リンス液吐出ノズル23は、前記リンス液吐出口23bに近づくにつれて、断面積が小さくなっている部分を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を略水平に保持する基板保持機構と、
第1の薬液流入開口から供給された第1の薬液を前記基板に対向する第1の薬液吐出開口から吐出する第1の薬液吐出ノズルと,第2の薬液流入開口から供給された第2の薬液を前記基板に対向する第2の薬液吐出開口から吐出する第2の薬液吐出ノズルと,第3の薬液流入開口から供給された第3の薬液を前記基板に対向する第3の薬液吐出開口から吐出する第3の薬液吐出ノズルと,前記基板に対向する第1の吸引開口から前記基板上の溶液を吸引する第1の溶液吸引ノズルと,前記基板に対向する第2の吸引開口から前記基板上の溶液を吸引する第2の溶液吸引ノズルとを具備する薬液吐出/吸引部と、
前記薬液吐出/吸引部と前記基板とを相対的に水平移動させる移動機構と、
前記薬液吐出/吸引部と前記基板主面との距離を略一定に保つ機構とを具備し、
前記基板に対する前記薬液吐出/吸引部の移動方向前方側から、第2の薬液吐出開口、第1の吸引開口、前記第1の薬液吐出開口、前記第2の吸引開口、第3の薬液吐出開口の順番に配置され、
前記薬液吐出/吸引部は、第2の薬液吐出開口と第1の溶液吸引開口との間、第1の溶液吸引開口と第1の溶液吸引開口との間、第1の溶液吸引開口と第2の溶液吸引開口との間、第2の溶液吸引開口と第3の溶液吸引開口との間の何れか一つ以上の間に設けられ、下面が前記基板主面と対向する面に設けられた部材を更に具備し、
前記第2及び/又は第3の薬液吐出ノズルは、前記第2及び/又は第3の薬液吐出開口に近づくにつれて、開口の面積が小さくなっている部分を有することを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/30
, H01L21/02
, H01L21/306
H01L21/30 569C
, G03F7/30 501
, H01L21/02 Z
, H01L21/30 564C
, H01L21/306 J
2H096AA25
, 2H096BA01
, 2H096BA09
, 2H096GA01
, 2H096GA17
, 2H096GA30
, 4F033AA04
, 4F033BA03
, 4F033DA02
, 4F033EA01
, 4F033NA01
, 5F043EE07
, 5F043EE36
, 5F046JA01
, 5F046JA02
, 5F046LA03
, 5F046LA04
