静電チャック及びその製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165706
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031917
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】絶縁不良や絶縁破壊を防止し、吸着力が大きく、かつ吸脱着の応答性に優れる静電チャックを提供する。【構成】電極2を有する絶縁性誘電体層3上に載置した半導体ウェハ4を電気的に吸着する静電チャックにおいて、絶縁性誘電体層3が少なくとも2層からなり、このうちの1層の抵抗が他の絶縁性誘電体層の抵抗又は他の絶縁性誘電体層32及び33が複数の場合はその抵抗の和より高く、かつこのうちの1層の抵抗と容量との積で表わされる時定数が他の絶縁性誘電体層の時定数又は他の絶縁性誘電体層32及び33が複数の場合はその時定数の和より長い高抵抗絶縁性誘電体層31である静電チャック。

請求項（抜粋）：

電極を有する絶縁性誘電体層上に載置した半導体ウェハを電気的に吸着する静電チャックにおいて、絶縁性誘電体層が少なくとも2層からなり、このうちの1層の抵抗が他の絶縁性誘電体層の抵抗又は他の絶縁性誘電体層が複数の場合はその抵抗の和より高く、かつこのうちの1層の抵抗と容量との積で表わされる時定数が他の絶縁性誘電体層の時定数又は他の絶縁性誘電体層が複数の場合はその時定数の和より長い高抵抗絶縁性誘電体層である静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電吸着装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-195058 出願人：株式会社日立製作所
特開昭61-152497
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-080416 出願人：東陶機器株式会社

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