静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大垣孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273581
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130826
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】被吸着物を静電チャックから脱離させた場合それを従来より容易にできかつ所望の耐電圧を有する静電チャックを提供する。【構成】静電チャック40の、被吸着物15を置くための誘電体層部分43を、下側誘電体層43aとこの上に積層された最表面の誘電体層43bとで構成する。最表面の誘電体層を被抵抗が1011Ωcmより大きい材料で構成する。下側誘電体層を比抵抗が108 Ωcm以上かつ前記最表面の誘電体層の比抵抗より小さな比抵抗を有する材料で構成する。

請求項（抜粋）：

静電チャックの、被吸着物を置くための誘電体層部分を、少なくとも2層の誘電体層で構成し、かつ、これら誘電体層のうちの最表面の誘電体層の厚さ、誘電率、面積及び比抵抗をそれぞれd、ε、S及びρと表したとき、該最表面の誘電体層の下記の(1)式で示される電荷蓄積の時定数τが、被吸着物をプロセス上の理由で当該静電チャックに吸着させておきたい時間に比べ大きくなるように、該最表面の誘電体層を構成し、該最表面の誘電体層より下層の誘電体層を、その比抵抗が108 Ωcm以上かつ前記最表面の誘電体層の比抵抗より小さな比抵抗を有するものとしてあることを特徴とする静電チャック。 τ=CR=(εS/d)・(ρd/S)=ερ ・・・(1)

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/302 B , H01L 21/31 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-070162 出願人：信越化学工業株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-080416 出願人：東陶機器株式会社
付着防止静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-322218 出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド

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