特許
J-GLOBAL ID：200903090230498746
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-145437
公開番号（公開出願番号）：特開平10-333326
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 良好なプロファイルと高感度、高解像力を有し、露光後経時での性能変化の小さいポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の構造の化合物、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(a)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)で表される化合物、及び(b)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基を有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、R1 〜R15は同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アシルアミノ基、t-ブトキシカルボニルオキシ基、アリールチオ基、置換していてもよいアリール基、スルホニルアミノ基、置換していてもよいアリールオキシ基、直鎖、分岐あるいは環状アルキル基、又は直鎖、分岐あるいは環状アルコキシ基を示す。R1 〜R15のうち少なくとも1つで、他のスルホニウム塩残基に結合してもよい。X- は、【化2】で表わされるスルホニウムアニオンから選ばれる化合物を示す。nは0〜10の整数を表す。R16〜R20、R21〜R27及びR28〜R36は同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、直鎖、分岐あるいは環状アルキル基、パーフロロアルキル基、直鎖、分岐あるいは環状アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、ホルミル基、ニトロ基、アシルアミノ基、スルホニルアミノ基、アリール基、アルコキシカルボニル基を示す。R16〜R20、R21〜R27及びR28〜R36のうち少なくとも1つで、他のスルホニウム塩残基に結合してもよい。但し、R16〜R20、R21〜R27及びR28〜R36のうちそれぞれ少なくとも2つはアルコキシ基であり、R16〜R20、R21〜R27及びR28〜R36の各置換基の炭素数の和が4以上である。
IPC (6件)：
G03F 7/004 503
, C07C381/12
, C08K 5/42
, C08L 25/18
, H01L 21/027
, C08F 8/00
G03F 7/004 503 A
, C07C381/12
, C08K 5/42
, C08L 25/18
, C08F 8/00
, H01L 21/30 502 R
