特許
J-GLOBAL ID：200903090311895634

パターン評価方法、パターン評価装置およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者：
池 田 隆 洋

池 田 隆 洋 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360157
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162216
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 高精度でエッジラフネスを定量化し、接続誤差の影響を除去できるパターンの評価方法、評価装置および記録媒体を提供する。【解決手段】 計測対象パターンの画像データを取得し(ステップS1)、この画像データに基づいて少なくとも一つの上記パターンエッジを認識し、上記パターンエッジの形状を構成するエッジ点列の各エッジ点の座標位置を算出し(ステップS3)、各エッジ点から下ろした垂線の長さの和が最小となる直線を求め(ステップS4)、上記直線が求められたときの上記垂線の長さεiを統計的に処理して上記パターンエッジのラフネスを定量的に表現する(ステップS5)。
請求項（抜粋）：
パターンが形成された被測定物にエネルギー線を走査して前記被測定物から発生する散乱粒子を検出して得られた画像データを取り込む工程と、前記画像データに基づいて少なくとも一つの前記パターンエッジを認識し、前記パターンエッジの形状を構成するエッジ点列の各エッジ点の座標位置を算出する工程と、各エッジ点から下ろした垂線の長さの和が最小となる直線を求める工程と、前記直線が求められたときの前記垂線の長さを統計的に処理して前記パターンエッジのラフネスを定量的に表現する評価情報を出力する工程と、を備えるパターン評価方法。
IPC (2件)：
G01B 15/00 ,  G01N 23/225
FI (2件)：
G01B 15/00 B ,  G01N 23/225
Fターム (28件)：
2F067AA41 ,  2F067AA54 ,  2F067CC17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067LL00 ,  2F067PP12 ,  2F067RR12 ,  2F067RR28 ,  2F067RR36 ,  2F067RR42 ,  2F067SS13 ,  2F067TT01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001EA06 ,  2G001FA06 ,  2G001FA29 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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